[发明专利]一种探针卡结构在审
| 申请号： | 202110011299.0 | 申请日： | 2021-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112816746A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 张雨田;徐嘉良 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 罗雅文 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种探针卡结构，涉及集成电路领域。该探针卡结构包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针；所述电路板上开设有检测窗口，所述电路板内设置有测试电路；所述探针悬臂承载环通过所述固定环固定在所述电路板的下方，所述探针悬臂承载环的下端位于所述检测窗口的下方；所述测试探针的顶端焊接在所述电路板的背面，所述测试探针与所述电路板中的测试电路连接，所述测试探针的下半部分固定在所述探针悬臂承载环的底部；所述测试探针的针尖暴露在所述检测窗口的下方；解决了传统探针卡上的检测窗口较小，难以适用于特殊检测情况的问题；有助于在利用探针卡检测芯片时，提供宽阔的操作空间和观察视野。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 结构 | ||
【主权项】：
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