[发明专利]一种探针卡结构

说明书

本申请公开了一种探针卡结构，涉及集成电路领域。该探针卡结构包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针；所述电路板上开设有检测窗口，所述电路板内设置有测试电路；所述探针悬臂承载环通过所述固定环固定在所述电路板的下方，所述探针悬臂承载环的下端位于所述检测窗口的下方；所述测试探针的顶端焊接在所述电路板的背面，所述测试探针与所述电路板中的测试电路连接，所述测试探针的下半部分固定在所述探针悬臂承载环的底部；所述测试探针的针尖暴露在所述检测窗口的下方；解决了传统探针卡上的检测窗口较小，难以适用于特殊检测情况的问题；有助于在利用探针卡检测芯片时，提供宽阔的操作空间和观察视野。

技术领域

本申请涉及集成电路领域，具体涉及一种探针卡结构。

背景技术

探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试设备之间的接口。探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片的焊盘(pad)或pin直接接触，实现测试设备与被测芯片之间的信号传输。

在晶圆出厂前，通过探针卡对晶圆上的芯片进行电性测试，能够发现芯片存在的缺陷，方便及时改进器件的制造工艺。一般在晶圆级测试时，将探针卡上的探针与待测芯片的测试焊盘接触，由测试设备发送测试程序以及接收测试结果。

目前，在某些测试情况下，探针卡上的探针难以满足检测需求，若针对每种特殊情况都重新制作探针卡，不仅增加了生产成本，还增加了测试时间成本。

发明内容

为了解决相关技术中的问题，本申请提供了一种探针卡结构。该技术方案如下：

一方面，本申请实施例提供了一种探针卡结构，包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针；

所述电路板上开设有检测窗口，所述电路板内设置有测试电路；

所述探针悬臂承载环通过所述固定环固定在所述电路板的下方，所述探针悬臂承载环的下端位于所述检测窗口的下方；

所述测试探针的顶端焊接在所述电路板的背面，所述测试探针与所述电路板中的测试电路连接，所述测试探针的下半部分固定在所述探针悬臂承载环的底部；

所述测试探针的针尖暴露在所述检测窗口的下方。

可选的，所述探针悬臂承载环的横截面为两个楔形图形。

可选的，所述固定环套设在所述检测窗口的边缘，所述固定环的顶端位于所述电路板的正面，所述固定环的底端位于所述电路板的背面；

所述探针悬臂承载环的顶部固定于所述固定环的底端。

可选的，所述固定环的内部设置有螺栓，所述固定环通过所述螺栓与所述电路板连接。

可选的，所述测试探针的下半部分通过胶粘剂与所述探针悬臂承载环的底部连接。

可选的，所述测试探针的下半部分紧贴所述探针悬臂承载环的底部。

本申请技术方案，至少包括如下优点：

本申请实施例提供的探针卡结构，包括电路板、固定环、探针悬臂承载环、测试探针，电路板上开设有检测窗口，固定环固定在电路板上检测窗口的外侧，在固定环的底部增加探针悬臂承载环，利用探针悬臂承载环固定测试探针的下半部分，增加测试探针针尖上方的空间，实现扩大电路板上检测窗口的效果；解决了传统探针卡上的检测窗口较小，难以适用于特殊检测情况的问题；有助于在利用探针卡检测芯片时，提供宽阔的操作空间和观察视野，实现同一块探针卡对待测芯片进行不同模式的测试。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。