[发明专利]一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用有效
| 申请号： | 202110010185.4 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112778911B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王溯;马丽;蒋闯;秦长春;章玲然;孙涛;张德贺;寇浩东 | 申请（专利权）人： | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09C1/00 | 分类号： | C09C1/00;C09G1/02;C09C3/12;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;何敏清 |
| 地址： | 201616 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用。表面改性的氧化铈颗粒由氧化铈经如式I所示的改性剂改性得到。本发明的抛光液在氧化硅膜和氮化硅膜之间的抛光选择比较高，沟槽部的碟陷Dishing量较低，粗糙度均方根值RMS小。 |
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| 搜索关键词： | 一种 表面 改性 氧化 颗粒 作为 抛光 液磨粒 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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