[发明专利]一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用有效
| 申请号: | 202110010185.4 | 申请日: | 2021-01-04 |
| 公开(公告)号: | CN112778911B | 公开(公告)日: | 2022-08-23 |
| 发明(设计)人: | 王溯;马丽;蒋闯;秦长春;章玲然;孙涛;张德贺;寇浩东 | 申请(专利权)人: | 上海晖研材料科技有限公司 |
| 主分类号: | C09C1/00 | 分类号: | C09C1/00;C09G1/02;C09C3/12;H01L21/3105 |
| 代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 王卫彬;何敏清 |
| 地址: | 201616 上海市松江*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 表面 改性 氧化 颗粒 作为 抛光 液磨粒 应用 | ||
1.一种表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用,其特征在于,所述的表面改性的氧化铈颗粒由氧化铈经如式I所示的改性剂改性得到,
其中,各R独立地为氨基、“被一个或多个R1取代的C1-C6烷基”、C2-C6烯基、“被一个或多个R4取代的硅基”或“被一个或两个R3取代的丙烯酰基”;
各R1独立地为卤素;
各R3独立地为C1-C6烷基;
各R4独立地为C1-C6烷基;
所述的如式I所示的改性剂与所述的氧化铈的质量比为1:(1-20);
所述的改性包括以下步骤:水中,将所述如式I所示的改性剂、氧化铈和聚合物助剂混合,用pH调节剂将pH值调节为4-7,在30℃-100℃下反应,得所述的表面改性的氧化铈颗粒;
所述的聚合物助剂为聚衣康酸、聚马来酸、聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸中的一种或多种;
所述的聚合物助剂与所述的氧化铈的质量比为1:(10-50)。
2.如权利要求1所述的表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用,其特征在于,当各R独立地为“被一个或多个R1取代的C1-C6烷基”时,所述的C1-C6烷基为C1-C4烷基;
和/或,当各R独立地为C2-C6烯基时,所述的C2-C6烯基为C2-C4烯基;
和/或,当各R1独立地为卤素时,所述的卤素为氟、氯、溴或碘;
和/或,当各R4独立地为C1-C6烷基时,所述的C1-C6烷基为C1-C4烷基;
和/或,当各R3独立地为C1-C6烷基时,所述的C1-C6烷基为C1-C4烷基;
和/或,所述的多个为2或3个。
3.如权利要求2所述的表面改性的氧化铈颗粒作为抛光液磨粒的应用,其特征在于,当各R独立地为“被一个或多个R1取代的C1-C6烷基”时,所述的C1-C6烷基为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基;
和/或,当各R独立地为C2-C6烯基时,所述的C2-C6烯基为
和/或,当各R1独立地为卤素时,所述的卤素为氯;
和/或,当各R4独立地为C1-C6烷基时,所述的C1-C6烷基为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基;
和/或,当各R3独立地为C1-C6烷基时,所述的C1-C6烷基为甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基或叔丁基。
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