[发明专利]激光放电腔内金属氟化物粉尘捕集用填充床过滤器在审
| 申请号： | 202080089581.4 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114868313A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | U·尼曼;W·D·吉莱斯皮 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/034 | 分类号： | H01S3/034;H01S3/036;H01S3/225;B03C3/06;B03C3/155;B01D46/88;B01D46/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光源装置(200)包括气体放电级(210)和金属氟化物阱(300)。气体放电级包括光学放大器(206)和成组光学元件(250、260)。光学放大器包括被配置为保持气体放电介质(213)的腔室(211)，气体放电介质输出光束。成组光学元件被配置为围绕光学放大器形成光谐振器。金属氟化物阱被配置为捕集从气体放电级生成的金属氟化物粉尘。金属氟化物阱包括静电除尘器(320)和围绕静电除尘器设置的填充床过滤器(400、402、404)。填充床过滤器包括被配置为吸收金属氟化物粉尘(208)的多个珠粒(406、408)。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 放电 金属 氟化物 粉尘 捕集用 填充 过滤器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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