[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202080089460.X | 申请日： | 2020-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114902138A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 吉村务;后藤研由;小岛雅史;崎田享平 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F20/38;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的感光化射线性或感放射线性树脂膜、使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的图案形成方法及电子器件的制造方法，所述感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含：含有具有特定的环结构的重复单元(a1)的树脂(A)、通过光化射线或放射线的照射产生酸的化合物(B)通过光化射线或放射线的照射分解而酸捕获性降低的特定的化合物(C)。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 射线 放射 线性 树脂 组合 图案 形成 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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