[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有：

(A)树脂，其含有具有由下述通式(1)表示的结构的重复单元(a1)；

(B)化合物，其通过光化射线或放射线的照射而产生酸；及

(C)离子性化合物，其为通过光化射线或放射线的照射分解而酸捕获性降低的化合物，且具有阴离子性酸捕获性基团，不具有非离子性酸捕获性基团，并且在阴离子部含有氟原子，

通式(1)中，

n^a1表示1以上的整数，

R¹～R⁴分别独立地表示氢原子、烷基、卤原子或羟基，当n^a1表示2以上的整数时，多个R¹及R²分别相同或不同，

*表示键合位置。

2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元(a1)为由下述通式(1-2)表示的重复单元(a1-2)，

通式(1-2)中，

X^a1表示氢原子、烷基或卤原子，

A^a1表示单键、2价的链状烃基、-O-、-C(＝O)-或将这些组合而成的2价的连接基团，

n^a1表示1以上的整数，

R¹～R⁴分别独立地表示氢原子、烷基、卤原子或羟基，当n^a1表示2以上的整数时，多个R¹及R²分别相同或不同。

3.根据权利要求1或2所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述树脂(A)还含有具有酸基的重复单元(a2)。

4.根据权利要求3所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述重复单元(a2)中的酸基为酚性羟基或氟化烷基醇基。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述离子性化合物(C)为由下述通式(C1)～(C3)中的任意者表示的化合物，

R^C1-L^C1-SO₃^-M_C⁺ (C1)

通式(C1)中，

R^C1表示环烷基或芳基，

L^C1表示单键、亚烷基、亚环烷基、-O-、-C(＝O)-或将这些组合而成的2价的连接基团，

其中，R^C1及L^C1中的至少一个被氟原子或具有氟原子的基团取代，

M_C⁺表示有机阳离子，

R^C2-L^C2-CO₂^-M_C⁺ (C2)

通式(C2)中，

R^C2表示环烷基或芳基，

L^C2表示单键、亚烷基、亚环烷基、-O-、-C(＝O)-或将这些组合而成的2价的连接基团，

其中，R^C2及L^C2中的至少一个被氟原子或具有氟原子的基团取代，

M_C⁺表示有机阳离子，

通式(C3)中，

A^C31及A^C32分别独立地表示-SO₂-R^PC1或-CO-R^PC2，

R^PC1及R^PC2表示有机基团，

其中，A^C31及A^C32中的至少一个被氟原子或具有氟原子的基团取代，

M_C⁺表示有机阳离子。