[发明专利]对带电粒子束进行轮廓分析的系统和方法在审
| 申请号： | 202080088489.6 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN114846574A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | M·R·古森;E·P·斯马克曼 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了对带电粒子束进行轮廓分析的系统和方法。对带电粒子束进行轮廓分析的方法可以包括激活带电粒子源以沿着主光轴生成带电粒子束，通过调节带电粒子束与驻光波之间的相互作用来修改带电粒子束，在与驻光波相互作用之后从修改后的带电粒子束中检测带电粒子，以及基于检测到的带电粒子确定带电粒子束的轮廓。备选地，该方法可以包括：激活光源，通过调节光束与带电粒子束之间的相互作用来修改光束，从修改后的光束中检测光信号，以及基于检测到的光信号确定带电粒子束的特性。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 进行 轮廓 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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