[发明专利]用于半导体处理设备的非弹性体、非聚合物、非金属膜阀在审
| 申请号： | 202080067255.3 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN114555997A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 马里施·格雷戈尔;西奥多罗斯·帕纳戈普路斯;索斯藤·贝恩德·莱尔 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | F16K99/00 | 分类号： | F16K99/00 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 可以提供一种装置，该装置包括具有一个或多个微流体阀结构的衬底。该阀结构是用于高真空应用的非弹性体、非聚合物、非金属膜阀。即使在阀的流体控制侧暴露于通常可用于折叠(collapse)/密封传统弹性体膜阀的低于大气压的压强场时这种阀也能发挥作用。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 处理 设备 弹性体 聚合物 金属膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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