[发明专利]隔热斥拒极以及电极在审
| 申请号： | 202080061716.6 | 申请日： | 2020-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN114375484A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 亚当·M·麦劳克林;奎格·R·钱尼;乔丹·B·泰伊 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J27/20 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李凤蓉;臧建明 |
| 地址： | 美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开一种具有隔热斥拒极的离子源。斥拒极包括斥拒极盘及多个轮辐，所述多个轮辐起始于斥拒极盘的后表面且终止于柱。在某些实施例中，柱在其长度的至少一部分上可为中空的。使用轮辐而非中心杆可减少从斥拒极盘到柱的热传导。通过并入中空柱，热传导被进一步降低。此种配置可将斥拒极盘的温度增加多于100℃。在某些实施例中，在斥拒极盘的后表面上设置有辐射屏蔽体，以减少从斥拒极盘的侧面发射的辐射量。此也可有助于增加斥拒极的温度。类似的设计可用于离子源中的其他电极。 | ||
| 搜索关键词： | 隔热 斥拒极 以及 电极 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料股份有限公司，未经应用材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080061716.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：粉末材料
- 下一篇：经由两个或多个网络传输数据报的方法和网关设备
