[发明专利]隔热斥拒极以及电极

权利要求书

1.一种在离子源中使用的斥拒极，包括：

斥拒极盘，适于设置在所述离子源内，具有厚度、前表面、后表面、外边缘；及中心轴线；

柱，用于附接到夹具；及

多个轮辐，从所述柱向外延伸到所述斥拒极盘，且在与所述斥拒极盘的所述中心轴线不同的位置处接触所述斥拒极盘的所述后表面。

2.根据权利要求1所述的斥拒极，其中所述斥拒极包括整体式组件。

3.根据权利要求1所述的斥拒极，其中所述斥拒极盘的所述后表面包括一个或多个辐射屏蔽体。

4.根据权利要求3所述的斥拒极，其中所述辐射屏蔽体包括一个或多个靠近所述斥拒极盘的外边缘设置的同心沟槽。

5.根据权利要求1所述的斥拒极，其中所述柱的至少一部分是中空的。

6.根据权利要求5所述的斥拒极，其中中空的所述部分包括轮辐延伸部，所述轮辐延伸部中的每一者对应于相应的轮辐，所述轮辐延伸部设置在所述柱的实心部分与所述轮辐之间，且平行于所述柱的中心轴线延伸。

7.一种离子源，包括：

腔室，包括多个壁以及第一端部及第二端部，其中所述第二端部包括孔；

阴极，设置在所述腔室的所述第一端部上；以及

斥拒极，设置在所述腔室的所述第二端部上；其中所述斥拒极包括：

斥拒极盘，设置在所述腔室内，具有厚度、前表面、后表面、外边缘；及中心轴线；

柱；以及

多个轮辐，从所述柱向外延伸到所述斥拒极盘，所述多个轮辐在与所述斥拒极盘的中心轴线不同的位置处接触所述斥拒极盘的后表面。

8.根据权利要求7所述的离子源，其中所述轮辐设置在所述腔室内。

9.根据权利要求7所述的离子源，还包括位于所述腔室外部、附接到所述柱且用于支撑所述斥拒极的夹具，其中所述柱的位于所述夹具与所述斥拒极盘之间的一部分是中空的。

10.根据权利要求9所述的离子源，其中轮辐延伸部从所述柱的靠近所述夹具设置的实心部分延伸到所述轮辐，且平行于所述柱的中心轴线延伸。

11.根据权利要求7所述的离子源，还包括设置在所述腔室的壁上的电极，所述电极包括：

电极板，设置在所述腔室内，具有厚度、前表面、后表面、外边缘及中心轴线；

电极柱，用于附接到夹具；及

多个轮辐，从所述电极柱向外延伸到所述电极板，所述多个轮辐在与所述电极板的所述中心轴线不同的位置处接触所述电极板的所述后表面。

12.一种在离子源内使用的电极，包括：

电极板，适于设置在所述离子源内，具有厚度、前表面、后表面、外边缘；及中心轴线；

柱，用于附接到夹具；及

多个轮辐，从所述柱向外延伸到所述电极板，且在与所述电极板的所述中心轴线不同的位置处接触所述电极板的所述后表面。

13.根据权利要求12所述的电极，其中所述电极板的所述后表面包括一个或多个辐射屏蔽体。

14.根据权利要求13所述的电极，其中所述辐射屏蔽体包括一个或多个靠近所述电极板的外边缘设置的沟槽或空腔。

15.根据权利要求16所述的电极，其中所述柱的至少一部分是中空的，且其中中空的所述部分包括轮辐延伸部，所述轮辐延伸部中的每一者对应于相应的轮辐，所述轮辐延伸部设置在所述柱的实心部分与所述轮辐之间，且平行于所述柱的中心轴线延伸。