[发明专利]小间距集成刀刃临时结合微结构在审
| 申请号： | 202080058164.3 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN114270201A | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 艾瑞克·S·丹尼尔;奥雷里奥·洛佩兹;彼得·布鲁尔 | 申请（专利权）人： | HRL实验室有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京鸿德海业知识产权代理有限公司 11412 | 代理人： | 栗东晖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于允许晶片、芯片或小芯片的临时结合的方法和设备。为了进行测试，临时结合方法和设备包括：临时连接设备，该临时连接设备具有多个刀刃微结构中的一个，其中，临时连接设备在使用中用作用于探测小芯片的探针装置，各个小芯片包括具有一个或多个扁平接触焊盘的裸片，该一个或多个扁平接触焊盘与临时连接设备的多个刀刃微结构中的一个配合；挤压设备，该挤压设备用于在小芯片上的一个或多个扁平接触焊盘与临时连接设备的多个刀刃微结构中的一个之间施加压力，从而在临时连接焊盘与和该一个或多个扁平晶片焊盘接触的刀刃微结构之间形成临时结合；该挤压设备能够在测试小芯片期间或之前施加压力以维持临时结合连接。 | ||
| 搜索关键词： | 间距 集成 刀刃 临时 结合 微结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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