[发明专利]在PVD工艺中用于圆柱、长形基材的夹具在审
| 申请号： | 202080052707.0 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN114144543A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·纳恩;弗朗切斯科·马奇里;鲁道夫·迈勒 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/02;C23C14/32;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 瑞士普费*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种要用在真空处理系统的真空室(16)内的夹具系统，包括：主轴(1)，在此被称为太阳轮(2)的齿轮，在此被称为辊子(3)的圆柱形物体，其显示出允许该齿轮与之啮合以使该圆柱形物体旋转的性能，保持板(4)，其中，所述太阳轮(2)和辊子(3)被制造为允许太阳轮(2)与辊子(3)啮合而使之旋转。 | ||
| 搜索关键词： | pvd 工艺 用于 圆柱 基材 夹具 | ||
【主权项】：
暂无信息
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