[发明专利]在PVD工艺中用于圆柱、长形基材的夹具

权利要求书

1.一种夹具系统，用在真空处理系统的真空室(16)内，包括：

-主轴(1)，

-齿轮，在此被称为太阳轮(2)，

-圆柱形物体，其显示出允许该齿轮与之啮合以使所述圆柱形物体旋转的性能，在此被称为辊子(3)，

-保持板(4)，

该保持板(4)被安装至该主轴(1)，该太阳轮(2)可转动安装至该主轴(1)，并在工作期间被外部锁定，优选使得该主轴(1)不使该太阳轮(2)旋转，并且该辊子(3)被安装到该保持板(4)并提供允许将工件座安装至该辊子(3)的措施，其特征是，

-该保持板(4)包括中心部(9)，其位于平面(B)内，其中，该平面(B)的法线(N)平行于该主轴(1)的旋转轴线，其中，该保持板(4)包括在臂纵向(11)上延伸的臂(10)，其中，该臂(10)被附接至该中心部(9)，其中，该臂(10)，优选该臂纵向(11)大致从该中心部(9)径向朝外，其中，该臂(10)，优选该臂纵向(11)位于该平面(B)内，从而优选地，该中心部(9)和该臂(10)，优选该臂纵向(11)关于该主轴(1)的所述旋转轴线(7)显示出约90°角度，

其中，该保持板(4)包括在手纵向(13)上延伸的手(12)，其中，该手(12)被附接至该臂(10)，其中，该手(12)，优选该手纵向(13)关于该臂(10)，优选该臂纵向(11)显示出在50°和130°之间的角度，其中，该手(12)，优选该手纵向(13)关于该平面(B)的法向(N)显示出约20°至70°的倾斜，其中，该手(12)包括允许将该辊子(3)安装至该手(12)的措施，并且，

该太阳轮(2)和该辊子(3)被制造为允许该太阳轮(2)与该辊子(3)啮合且由此使其旋转。

2.根据权利要求1所述的夹具系统，其特征是，该手(12)，优选该手纵向(13)关于所述臂(10)，优选所述臂纵向(11)显示出约90°角度。

3.根据权利要求1或2所述的夹具系统，其特征是，该手(12)，优选该手纵向(13)关于该平面(B)的法线(N)的倾角(γ)约为45°。

4.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，该辊子(3)的允许齿轮与之啮合而使之旋转的性能被实现为倾斜槽(6)，所述倾斜槽沿该辊子(3)的周面延伸。

5.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，齿轮传动比i＝太阳轮:辊子被选择为1:2i1:10。

6.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，该保持板(4)被制造成容纳多个辊子(3)，优选地，该保持板容纳多个辊子。

7.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，用于辊子(3)的制造方法包括采用增材工艺来构建该辊子(3)的工艺步骤。

8.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，该太阳轮(2)利用水射流切割、激光切割、计算机化数控(CNC)或传统车削或铣削来制造。

9.根据前述权利要求之一所述的夹具系统，其特征是，至少两个、优选多个保持板(4)被安装至该主轴(1)，同样数量的太阳轮(2)可转动安装至该主轴(1)，所述保持板(4)和所述太阳轮(2)以堆叠方式被安装至该主轴(1)，在每个所述保持板(4)上安装至少一个、优选多个辊子(3)，其中，每个太阳轮(2)适配于至少其中一个所述辊子(3)。

10.根据权利要求9所述的夹具系统，其特征是，该夹具系统包括太阳轮(2)和保持板(4)的第一系统，其齿轮传动比j＝太阳轮:辊子不同于太阳轮(2)和保持板(4)的第二系统的齿轮传动比i，由此允许不同的基材，优选不同转速的基材被同时处理。

11.一种夹具系统，用在真空处理系统的真空室(16)中，包括主轴(1)、齿轮(太阳轮2)、圆柱形物体，该圆柱形物体显示出允许所述齿轮与之啮合以使所述圆柱形物体转动的性能，

其特征是，如此设计该系统，即，该太阳轮(2)使所述圆柱形物体绕轴线旋转，该轴线所呈现的线相对于该太阳轮(2)的旋转线以歪斜的方式布置并且不与该太阳轮(2)的旋转线相交。