[发明专利]用于移除边缘保护层及残余金属硬掩模组分的冲洗剂及其使用方法在审
| 申请号： | 202080049603.4 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN114080570A | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;S·K·穆伦;赵俊衍 | 申请（专利权）人： | 默克专利股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/09;H01L21/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 姜煌 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于从晶圆/基板的边缘及至少一个近表面移除边缘保护层及残余硬掩模组分(例如，金属)的冲洗剂及其使用方法，其中该冲洗剂包括(i)乙酸及/或结构(A)的卤化乙酸： |
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| 搜索关键词： | 用于 边缘 保护层 残余 金属 模组 洗剂 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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