[发明专利]用于干涉仪装置的反射镜装置、干涉仪装置和用于制造反射镜装置的方法在审
| 申请号： | 202080034778.8 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113785227A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | C·谢林;C·D·克莱默;R·勒德尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B5/08;G02B26/00;G01J3/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梁冰;司昆明 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于干涉仪装置（10）的反射镜装置（1），其包括：上下平行地并且彼此相距反射镜层间距（d23）地布置的第一反射镜层（2）和第二反射镜层（3），其中，所述反射镜层间距（d23）在第一和第二反射镜层（2、3）之间形成中间腔（5），其中，所述中间腔（5）包括气体或真空；至少一个至少部分地在第一和第二反射镜层（2、3）之间延伸的间隔结构（4），其中，所述间隔结构（4）包括与第一和/或第二反射镜层（2、3）相同或不同的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 干涉仪 装置 反射 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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