[发明专利]用于干涉仪装置的反射镜装置、干涉仪装置和用于制造反射镜装置的方法

权利要求书

1.一种用于干涉仪装置（10）的反射镜装置（1），其包括：

-上下平行地并且彼此相距反射镜层间距（d23）地布置的第一反射镜层（2）和第二反射镜层（3），其中，所述反射镜层间距（d23）在所述第一反射镜层和所述第二反射镜层（2、3）之间形成中间腔（5），并且其中，所述中间腔（5）包括气体或真空；

-至少一个至少部分地在所述第一反射镜层和所述第二反射镜层（2、3）之间延伸的间隔结构（4），并且其中，所述间隔结构（4）包括与所述第一反射镜层和/或所述第二反射镜层（2、3）相同或不同的材料。

2.根据权利要求1所述的反射镜装置（1），其中，所述间隔结构（4）包括侧壁（4a），所述侧壁与所述第一反射镜层和所述第二反射镜层（2、3）的平坦的延伸方向竖直地延伸，或以一定的角度偏离竖直方向延伸。

3.根据权利要求1或2所述的反射镜装置（1），其中，所述间隔结构（4）至少伸入到两个反射镜层（2、3）之一中。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的反射镜装置（1），其中，所述间隔结构（4）包括在所述侧壁（4a）和底部（4c）之间的芯部（4b），其中，所述侧壁（4a）和所述底部（4c）包括与所述芯部（4b）不同的材料。

5.根据权利要求4的反射镜装置（1），其中，所述侧壁（4a）和所述底部（4c）包括电绝缘的材料。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的反射镜装置（1），其中，所述间隔结构（4）突出至少穿过两个反射镜层（2、3）之一，并且以至少所述反射镜层之一的厚度突出超过所述第一反射镜层和/或所述第二反射镜层（2、3）的外侧。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的反射镜装置（1），它包括多个间隔结构（4），在所述第二反射镜层（3）的平坦的顶面（3b）的俯视图中，所述间隔结构形成六边形的格栅。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的反射镜装置（1），其中，在内凹（A）下方和/或上方的区域中，所述第一反射镜层和/或所述第二反射镜层（2；3）在远离所述内凹（A）的方向上与所述第一反射镜层和/或所述第二反射镜层（2）的平坦的延伸方向竖直地突出。

9.一种干涉仪装置（10）包括：

-衬底（S）；

-第一反射镜装置（SP1）和第二反射镜装置（SP2），其中，这些反射镜装置中的至少一个反射镜装置是根据权利要求1至8中任一项形成的，这些反射镜装置布置在所述衬底（S）上方，并且彼此相距第一间距（d12）地上下布置，其中，至少所述第一反射镜装置（SP1）布置成可相对于所述第二反射镜装置（SP2）移动；和

-致动装置，通过所述致动装置至少可移动所述第一射镜装置和/或所述第二反射镜装置。

10.一种用于制造反射镜装置（1）的方法，其包括以下步骤：

-提供（S1）第一牺牲层（O1）和/或衬底；

-将第一反射镜层（2）覆设（S2）到所述第一牺牲层（O1）和/或所述衬底上；

-将第二牺牲层（O2）覆设（S3）在所述第一反射镜层（2）上；

-至少在所述第二牺牲层（O2）中形成（S4）内凹（A），该内凹至少延伸至所述第一反射镜层（2）；

-将用于间隔结构（4）的材料（4d）引入（S5）到所述内凹（A）中；

-将第二反射镜层（3）覆设（S6）到所述第二牺牲层（O2）上和所述内凹（A）上方；并且

-至少部分地去除（S7）所述第一牺牲层和/或所述第二牺牲层（O1；O2）。