[发明专利]用于平板显示器的大面积高密度等离子体处理腔室在审
| 申请号： | 202080032706.X | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113811978A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 苏希尔·安瓦尔;吴玉伦;J·库德拉;卡尔·A·索伦森;吉万·普拉卡什·塞奎拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文描述的实施方式提供一种用于独立地控制在腔室的内部容积内的等离子体密度和气体分配的腔室的盖组件。所述盖组件包括等离子体生成系统和气体分配组件。所述等离子体生成系统包括多个介电板，所述介电板具有相对于真空压力取向的底表面和可操作以相对于大气压力取向的顶表面。一个或多个线圈定位在所述多个介电板上或上方。所述气体分配组件包括第一扩散器和第二扩散器。所述第一扩散器包括与所述第二扩散器的多个第二通道相交的多个第一通道。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 平板 显示器 大面积 高密度 等离子体 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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