[发明专利]用于蚀刻应用的受控孔隙率氧化钇在审

专利信息
申请号: 202080027479.1 申请日: 2020-04-04
公开(公告)号: CN113795473A 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: M·J·多隆;S·比斯塔;S·沃格赫马雷;C·戴维斯;M·韦斯迈耶;F·弗朗茨 申请(专利权)人: 贺利氏科纳米北美有限责任公司
主分类号: C04B35/505 分类号: C04B35/505;C04B38/00
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 刘媛媛
地址: 美国亚*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种烧结氧化钇体,其具有40ppm或更少的总杂质水平、不小于4.93g/cm3的密度,其中所述烧结氧化钇体具有包含至少一个孔的至少一个表面,其中没有直径大于5μm的孔。还公开了一种制备所述烧结氧化钇体的方法。
搜索关键词: 用于 蚀刻 应用 受控 孔隙率 氧化钇
【主权项】:
暂无信息
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