[发明专利]利用空间变化偏振转子及偏振器进行敏感性粒子检测

摘要

一种暗场检验系统可包含：照射源，其用以产生照射束；照射光学器件，其经配置以将所述照射束沿着照射方向以离轴角度引导到样本；聚光光学器件，其用以在暗场模式中响应于所述照射束而聚集来自所述样本的散射光；极化转子，其位于一或多个聚光光学器件的光瞳面处，其中所述极化转子提供被选择成将从所述样本的表面散射的光旋转到选定极化角度的空间变化极化旋转角度；极化器，其经对准以拒斥沿着所述选定极化角度发生极化的光来拒斥从所述样本的表面散射的光；及检测器，其用以基于来自所述样本的由所述极化器传递的散射光而产生所述样本的暗场图像。