[发明专利]使用色彩计量进行的基板的厚度测量在审
| 申请号： | 202080017655.3 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN113490833A | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | N·莫达麦迪;D·J·本韦格努;B·A·斯韦德克;M·A·约瑟福威茨 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/66;G06T5/00;G06T7/00;G06T7/60 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种层厚度测量系统包括用于固持基板的支撑件、用于捕获基板的至少一部分的彩色图像的光学传感器、以及控制器。控制器被配置成从光学传感器接收彩色图像；存储函数，所述函数根据至少两个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值，所述至少两个维度包括第一色彩通道和第二色彩通道；针对彩色图像的像素，从彩色图像中的色彩数据来确定像素在坐标空间中的坐标；确定在预定路径上最靠近所述坐标的点的位置；以及从函数以及预定路径上的点的位置来计算表示厚度的值。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 色彩 计量 进行 厚度 测量 | ||
【主权项】：
暂无信息
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