[发明专利]使用色彩计量进行的基板的厚度测量

权利要求书

1.一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的系统，包括：

支撑件，所述支撑件用于固持用于集成电路制造的基板；

光学传感器，所述光学传感器用于捕获由所述支撑件所固持的所述基板的至少一部分的彩色图像；以及

控制器，所述控制器被配置成

从所述光学传感器接收所述彩色图像，

对所述彩色图像执行色彩校正以产生具有增大的色彩对比度的经调整彩色图像，

存储函数，所述函数根据至少两个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值，所述至少两个维度包括第一色彩通道和第二色彩通道，

针对所述经调整彩色图像的像素，从所述经调整彩色图像中针对所述像素的色彩数据来确定所述像素在所述坐标空间中的坐标，

确定在所述预定路径上最靠近所述像素的所述坐标的点的位置，以及

从所述函数以及所述预定路径上的所述点的所述位置来计算表示厚度的值。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器被配置成使用预定色彩校正矩阵来执行所述色彩校正。

3.如权利要求2所述的系统，其中由所述光学传感器产生的所述彩色图像具有N个色彩通道。

4.如权利要求3所述的系统，其中所述控制器被配置成计算所述经调整彩色图像的像素的经校正强度值I_C1,…,I_CN，所述经校正强度值I_C1,…,I_CN满足

其中I₀₁,…,I_0N为所述彩色图像的所述像素的原始强度值，并且a11,…,aNN为所述色彩校正矩阵的值。

5.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器被配置成将偏移和/或增益和/或伽马校正施加至来自所述光学传感器的原始图像数据，以产生所述彩色图像。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述控制器被配置成对所述彩色图像滤波以便去除低频空间变化。

7.如权利要求6所述的系统，其中所述光学传感器包括线扫描相机以获得沿第一轴线的多个像素，并且包括致动器以使所述光学传感器沿垂直于所述第一轴线的第二轴线相对于所述支撑件移动，使得所述彩色图像包括多个像素行，每个像素行对应于所述光学传感器沿所述第二轴线的传感器元件，所述多个像素行对应于所述光学传感器沿所述第一轴线的运动。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述控制器被配置成对所述彩色图像滤波以仅沿所述第一轴线去除空间变化。

9.如权利要求1所述的系统，其中所述第一色彩通道和所述第二色彩通道选自包括色调、饱和度、亮度、X、Y、Z、红色色度、绿色色度以及蓝色色度的色彩通道的群组。

10.如权利要求1所述的系统，包括机器人，所述机器人提供所述支撑件，并且其中所述光学传感器被配置成在测量期间是固定的，并且所述机器人移动所述基板，使得所述光学传感器在所述基板上进行扫描。

11.一种用于获得表示基板上的层的厚度的测量值的计算机程序产品，所述计算机程序产品有形地体现在非暂时性计算机可读介质中，包括用于使处理器进行以下各项的指令：

从彩色相机接收所述基板的彩色图像；

存储函数，所述函数根据至少两个维度的坐标空间中沿预定路径的位置来提供表示厚度的值，所述至少两个维度包括第一色彩通道和第二色彩通道；

对所述彩色图像执行色彩校正以产生具有增大的色彩对比度的经调整彩色图像；

针对所述经调整彩色图像的像素，从所述经调整彩色图像中针对所述像素的色彩数据来确定所述像素在所述坐标空间中的坐标；

确定在所述预定路径上最靠近所述像素的所述坐标的点的位置；以及

从所述函数以及所述预定路径上的所述点的所述位置来计算表示所述基板上的层的厚度的值。