[实用新型]制绒设备

摘要

本申请提供制绒设备，涉及光伏技术领域。制绒设备包括：第一次酸洗槽对碱制绒后的单晶硅片第一次酸洗；金属离子辅助制绒槽对第一次酸洗后的单晶硅片进行金属离子辅助制绒；第一次脱金属槽对金属离子辅助制绒后的单晶硅片进行第一次脱金属处理；第二次酸洗槽对第一次脱金属后的单晶硅片第二次酸洗；修饰槽对第二次酸洗后的单晶硅片进行修饰、扩孔；第二次脱金属槽采用含有臭氧的水鼓泡的方式，对扩孔后的单晶硅片第二次脱金属。金属离子浓度较小，纳米孔洞尺寸小，反射率低。鼓泡产生震动，臭氧与金属离子发生化学反应，金属离子残留少，复合少，发电效率高。