[实用新型]一种高密封效果单晶炉副炉室本体有效
申请号: | 202023286449.9 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214830776U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 谭凌宇;戴永丰;谭明 | 申请(专利权)人: | 浙江德弘机电科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王大国 |
地址: | 314211 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高密封效果单晶炉副炉室本体,包括底座、主炉室、副炉室本体A、副炉室本体B和气泵,所述底座的顶部设置有主炉室,所述主炉室的顶部设置有隔离阀座,所述底座的顶部位于主炉室的两侧均设置有支撑架,所述支撑架内的一侧均设置有滑轨,所述滑轨的顶部一侧设置有推箱,所述推箱通过一侧滑块与滑轨滑动连接,所述推箱的另一侧通过轴承安装安装支架,所述推箱内通过螺栓连接步进电机,所述步进电机通过驱动轴连接安装支架,所述安装支架的一侧分别通过螺栓连接与主炉室对应的副炉室本体A与副炉室本体B。本实用新型一种高密封效果单晶炉副炉室本体,能够提高生产效率,结构简单易操作,而且便于清洁,适合被广泛推广和使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 密封 效果 单晶炉副炉室 本体 | ||
【主权项】:
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