[实用新型]一种高密封效果单晶炉副炉室本体

说明书

本实用新型公开了一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座、主炉室、副炉室本体A、副炉室本体B和气泵，所述底座的顶部设置有主炉室，所述主炉室的顶部设置有隔离阀座，所述底座的顶部位于主炉室的两侧均设置有支撑架，所述支撑架内的一侧均设置有滑轨，所述滑轨的顶部一侧设置有推箱，所述推箱通过一侧滑块与滑轨滑动连接，所述推箱的另一侧通过轴承安装安装支架，所述推箱内通过螺栓连接步进电机，所述步进电机通过驱动轴连接安装支架，所述安装支架的一侧分别通过螺栓连接与主炉室对应的副炉室本体A与副炉室本体B。本实用新型一种高密封效果单晶炉副炉室本体，能够提高生产效率，结构简单易操作，而且便于清洁，适合被广泛推广和使用。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别涉及一种高密封效果单晶炉副炉室本体。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，传统的直拉硅单晶炉在其炉体上部配有一个副炉室本体，用于在晶体提拉出熔体后上升到副炉室本体内部缓慢冷却。

目前，现有的单晶炉副炉室本体在使用时有以下缺点：1、由于密封性不稳定，易导致单晶炉的使用效果不佳，影响生产品质，2、单晶冷却时间较长，导致连续生产周期较长，生产效率较低，3、副炉室本体内需要人工进行清洁，较为消耗人力，且不易清洁。为此，我们提出一种高密封效果单晶炉副炉室本体。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种高密封效果单晶炉副炉室本体，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种高密封效果单晶炉副炉室本体，包括底座、主炉室、副炉室本体A、副炉室本体B和气泵，所述底座的顶部设置有主炉室，所述主炉室的顶部设置有隔离阀座，所述底座的顶部位于主炉室的两侧均设置有支撑架，所述支撑架内的一侧均设置有滑轨，所述滑轨的顶部一侧设置有推箱，所述推箱通过一侧滑块与滑轨滑动连接，所述推箱的另一侧通过轴承安装安装支架，所述推箱内通过螺栓连接步进电机，所述步进电机通过驱动轴连接安装支架，所述安装支架的一侧分别通过螺栓连接与主炉室对应的副炉室本体A与副炉室本体B，所述副炉室本体A和副炉室本体B的一端均设置有与隔离阀座对应的副炉室本体闸阀，所述底座的顶部位于主炉室的一侧设置有与副炉室本体A和副炉室本体B对应的废料槽。

进一步地，所述主炉室的顶部位于隔离阀座的外围设置有密封壳。

进一步地，所述副炉室本体闸阀的外围均设置有气囊。

进一步地，所述支撑架内的顶部通过螺栓连接电动液压推杆，所述电动液压推杆的驱动端通过螺栓连接推箱。

进一步地，所述支撑架内的一侧通过螺栓连接气泵，所述气泵的出气端通过管道连通进气口。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.通过设置的气泵、气囊与密封壳，能够增加副炉室本体与主炉室之间的密封性，从而提高密封性，避免影响生产质量，还能提高生产效率。

2.通过设置的电动液压推杆、副炉室本体A与副炉室本体B，能够在晶棒冷却的同时，对副炉室本体进行更换，避免工件的冷却时间影响生产效率，缩短生产周期，从而提高单晶炉的使用效率。

3.通过设置的安装支架、步进电机和电动液压推杆，能够在进行更换副炉室本体的同时，对副炉室本体进行转动，利用重力作用，将副炉室本体内的废料倒出，操作简单，清洁效果好，还能减少人力消耗。

附图说明

图1为本实用新型一种高密封效果单晶炉副炉室本体的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种高密封效果单晶炉副炉室本体的密封壳与气囊结构示意图。