[实用新型]一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组有效
申请号: | 202023235920.1 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN214469023U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 鲁煜;王祎;刘玉良;姜经理;谭大胜 | 申请(专利权)人: | 浙江中电环境科技有限公司 |
主分类号: | F24F3/167 | 分类号: | F24F3/167;F24F8/108;F24F8/90;F24F13/28 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 王家蕾 |
地址: | 314000 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组,包括箱体、储纳箱、进风扇、毛刷、第二滑块和第一门板,所述箱体一端侧壁的底端安装有储纳箱,且储纳箱内部的底端皆安装有第一滑轨,所述第一滑轨的内部设置有第一滑块,且第一滑块的顶端安装有收纳箱,所述储纳箱的顶端设置有铰接轴,且铰接轴的外壁铰接有铰接板,所述箱体一端侧壁的内部开设有进风口,且进风口的内部安装有第一过滤网,所述进风口的内部安装有进风扇,且进风扇的内部安装有贯穿第一过滤网的转杆。该氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组,通过连接杆可以带动挤压板来对第二过滤网进行限位固定,便于操作人员对第二过滤网进行安装和拆卸。 | ||
搜索关键词: | 一种 氮化 半导体 生产 洁净室 空气 处理 机组 | ||
【主权项】:
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