[实用新型]一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组

权利要求书

1.一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，包括箱体(1)、储纳箱(2)、进风扇(9)、毛刷(14)、第二滑块(18)和第一门板(27)，其特征在于：所述箱体(1)一端侧壁的底端安装有储纳箱(2)，且储纳箱(2)内部的底端皆安装有第一滑轨(3)，所述第一滑轨(3)的内部设置有第一滑块(4)，且第一滑块(4)的顶端安装有收纳箱(5)，所述储纳箱(2)的顶端设置有铰接轴(6)，且铰接轴(6)的外壁铰接有铰接板(7)，所述箱体(1)一端侧壁的内部开设有进风口(8)，且进风口(8)的内部安装有第一过滤网(10)，所述进风口(8)的内部安装有进风扇(9)，且进风扇(9)的内部安装有贯穿第一过滤网(10)的转杆(11)，所述箱体(1)内部的顶端皆安装有第一U型座(15)，且第一U型座(15)内部一端的侧壁皆安装有安装框(16)，所述安装框(16)内部的顶端和底端皆安装有第二滑轨(17)，且第二滑轨(17)的内部设置有第二滑块(18)，所述箱体(1)内部的底端皆安装有第二U型座(22)，且第二U型座(22)内部两端的侧壁皆安装有第三滑轨(23)，且第三滑轨(23)的内部安装有第三滑块(24)，所述储纳箱(2)一侧的侧壁铰接有第一门板(27)，所述箱体(1)一侧的侧壁铰接有第二门板(28)，所述箱体(1)内部远离进风口(8)的一端安装有出风机构(30)。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述转杆(11)远离进风扇(9)的一端安装有套筒(12)，且套筒(12)的外壁安装有刮板(13)，所述刮板(13)靠近第一过滤网(10)的一端皆安装有毛刷(14)，且毛刷(14)与第一过滤网(10)相互贴合。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述第二滑块(18)相互靠近的一端安装有贯穿安装框(16)一端侧壁的连接杆(19)，且连接杆(19)远离安装框(16)的一端安装有挤压板(20)。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述连接杆(19)远离挤压板(20)的一端安装有第一弹簧(21)，且第一弹簧(21)远离连接杆(19)的一端与安装框(16)内部一端的侧壁相连接。

5.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述第三滑块(24)相互靠近的一端安装有支撑板(25)，且支撑板(25)的顶端安装有第二过滤网(26)，所述第二过滤网(26)远离第二U型座(22)的一端与第一U型座(15)相卡合。

6.根据权利要求5所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室空气处理机组，其特征在于：所述支撑板(25)的底端皆安装有第二弹簧(29)，且第二弹簧(29)的底端与第二U型座(22)内部的底端相连接。