[实用新型]MEMS芯片、MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 202023206858.3 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN213847005U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘松;邱冠勋;周宗燐 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 266100 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种MEMS芯片、MEMS麦克风及电子设备，MEMS芯片包括背极板以及振膜，背极板包括绝缘板、第一电极板以及第二电极板，第一电极板以及第二电极板相对设于绝缘板的两侧。振膜形成有真空腔体，第一电极板以及第二电极板容置于真空腔体中。第一电极板和第二电极板的表面设置多个凸起部，振膜对应每一凸起部设置有凹陷部，凸起部容置于对应的凹陷部内。上述方案解决MEMS麦克风信噪比较低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | mems 芯片 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
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