[实用新型]一种真空压头陶瓷滑套结构有效
| 申请号： | 202023159351.7 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN213981663U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 寇明虎;刘泳沣 | 申请（专利权）人： | 北京特思迪半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101300 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空压头陶瓷滑套结构，包括滑杆套、滑套和滑套座，所述滑套间隙配合套设在所述滑杆套的外表面，所述滑套座固定套设在所述滑套的外表面，套设有滑套座的所述滑套可沿所述滑杆套的外表面滑动，所述滑杆套可沿着滑杆进行滑动，所述滑杆套和滑套的材质均采用陶瓷材质，滑套座的材质为殷钢。解决了现有滑套因加工温度环境变化导致的变形问题，具有热稳定性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 压头 陶瓷 结构 | ||
【主权项】：
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