[实用新型]一种真空压头陶瓷滑套结构

说明书

本实用新型公开一种真空压头陶瓷滑套结构，包括滑杆套、滑套和滑套座，所述滑套间隙配合套设在所述滑杆套的外表面，所述滑套座固定套设在所述滑套的外表面，套设有滑套座的所述滑套可沿所述滑杆套的外表面滑动，所述滑杆套可沿着滑杆进行滑动，所述滑杆套和滑套的材质均采用陶瓷材质，滑套座的材质为殷钢。解决了现有滑套因加工温度环境变化导致的变形问题，具有热稳定性高的优点。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工领域，尤其是涉及一种用于半导体的抛光研磨设备中的真空压头陶瓷滑套结构。

背景技术

在现有抛光研磨加工生产中，真空压头的滑套部件对于工件加工中的平行度调节起到了至关重要的作用，加工过程中，工件吸附在压头底部随着加工大盘转动产生上下相对运动，该上下运动一般通过滑套来实现，滑套与滑杆套之间相对运动的流畅性会严重影响工件随大盘的相对运动，从而影响到工件加工精度。现有的滑套部件多采用金属材质，加工过程中因加工时间和环境的变化，滑套部件会随温度环境变化会产生一定变形，导致滑套部件相对运动出现一定的摩擦力，从而影响生产加工。

本实用新型为了克服上述缺陷，进行了有益的改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种真空压头陶瓷滑套结构，具备膨胀系数小，不会因温度变化而变化稳定性高的优点，解决了现有滑套因加工温度环境变化变形的问题。

为了实现上述目的，采用以下技术方案：

一种真空压头陶瓷滑套结构，包括滑杆套、滑套和滑套座，其特殊之处在于：所述滑套间隙配合套设在所述滑杆套的外表面，所述滑套座固定套设在所述滑套的外表面，套设有滑套座的所述滑套可沿所述滑杆套的外表面滑动，所述滑杆套可沿着滑杆进行滑动，所述滑杆套和滑套的材质均采用陶瓷材质。

优选地：所述滑套座的材质为殷钢。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置陶瓷滑杆套、陶瓷滑套和滑套座的配合使用，解决了现有滑套因加工温度环境变化导致的变形问题，具有热稳定性高的优点。

2、本实用新型通过滑杆套和滑套选择为陶瓷，因陶瓷具有热稳定性强，加工精度高的优点，避免了加工因温度环境变化导致的变形问题。

3、本实用新型通过陶瓷滑套座材质选择为殷钢，因殷钢膨胀系数小，不会因温度变化而变化，稳定性高，避免了加工因温度环境变化导致的变形问题。

附图说明

图1是本实用新型实施例中真空压头陶瓷滑套结构的结构示意图；

图2是本实用新型实施例中真空压头陶瓷滑套结构的结构剖视图。

附图标记：1、滑杆套；2、滑套；3、滑套座。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1-2所示，本实用新型实施例提供的一种真空压头陶瓷滑套，包括滑杆套1、滑套座2和滑套座3，所述滑套2间隙配合套设在滑杆套1外表面，所述滑套座3与滑套2固定连接。

参考图1和2，滑杆套和滑套选择为陶瓷。

采用上述方案：通过将滑杆套和滑套材质设置为陶瓷，因陶瓷具有热稳定性强，加工精度高的优点，避免了加工因温度环境变化导致的变形问题。

参考图1和2，滑套座为殷钢材质。