[实用新型]吸盘抓手装置及半导体加工设备有效
| 申请号： | 202023041600.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN215281992U | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 方欣 | 申请（专利权）人： | 无锡华润安盛科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B65G47/91;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 孙毅俊 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种吸盘抓手装置及半导体加工设备。所述吸盘抓手装置包括吸盘组件及至少部分设于所述吸盘组件外周侧的清洁装置，所述吸盘组件用于抓取半导体产品，所述清洁装置用于向所述吸盘组件的表面或半导体产品表面吹气。上述吸盘抓手装置具有清洁装置，以向吸盘组件的表面或半导体产品表面吹气，使得吸盘组件的表面及半导体产品更加洁净，避免由于吸盘组件的表面或半导体产品之上存在碎屑或杂质等带来的半导体表面污染或划伤的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 抓手 装置 半导体 加工 设备 | ||
【主权项】：
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