[实用新型]一种化镀设备快排清洗槽装置有效
| 申请号： | 202023020620.1 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN214391324U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 倪裕林;徐新志;尹旺;王健忠 | 申请（专利权）人： | 昆山蕴鼎自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;B01D29/31 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 张荣 |
| 地址： | 215331 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化镀设备快排清洗槽装置，包括水槽、电机、清洗喷头和排水管，水槽的内端面设置有放置环，水槽的下端面设置有传动室，传动室的上端面设置有第一通孔，传动室的下端面设置有第二通孔和第三通孔，清洗喷头的下端设置有进水管，进水管穿过第一通孔和第三通孔与水槽转动连接，电机穿过第二通孔通过齿轮与进水管传动连接，水槽的底部设置有杂质槽，排水管穿过杂质槽的侧端面与水槽固定连接。本实用新型通过电机带动清洗喷头转动对晶圆件进行旋转喷淋，大大提升了晶圆件的清洗效果，通过过滤桶与杂质槽配合，能够将杂质截留，且方便对杂质进行清理，避免排水管堵塞，大大提升了设备的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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