[实用新型]一种防撞扫描电镜ebsd探头组件有效
| 申请号： | 202023002538.6 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN213957201U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王珺 | 申请（专利权）人： | 辽宁鼎创材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/203 | 分类号： | G01N23/203;G01N23/20008;G01N23/20025 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110179 辽宁省沈阳市自由*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，包括底座，底座的上方设置有样品台，样品台上方设置有光束发射器，底座上设置有伸缩电镜ebsd探头座，伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头，伸缩电镜ebsd探头座的下方设置有支架，支架的下方设置有滑块，滑块滑动连接在底座的滑道上，滑块上设置有弹簧开关，滑道上设置有调节块，弹簧开关电性连接控制器，控制器电性连接伸缩电镜ebsd探头座。该种结构可合理限定探头的位置，使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动，避免了探头接触到样品而导致探头损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 ebsd 探头 组件 | ||
【主权项】：
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