[实用新型]一种防撞扫描电镜ebsd探头组件

说明书

本实用新型公开了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，包括底座，底座的上方设置有样品台，样品台上方设置有光束发射器，底座上设置有伸缩电镜ebsd探头座，伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头，伸缩电镜ebsd探头座的下方设置有支架，支架的下方设置有滑块，滑块滑动连接在底座的滑道上，滑块上设置有弹簧开关，滑道上设置有调节块，弹簧开关电性连接控制器，控制器电性连接伸缩电镜ebsd探头座。该种结构可合理限定探头的位置，使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动，避免了探头接触到样品而导致探头损伤。

技术领域

本实用新型涉及研磨设备领域，具体地，涉及一种防撞扫描电镜ebsd探头组件。

背景技术

EBSD技术是材料科学表征的一个重要手段，受到越来越多显微工作者的重视，同时 EBSD使用者的水平也在逐年提高。相比XRD来说，EBSD可以针对微观选取更加精确定位局部晶粒及晶界特性，样品形状及尺寸不受限制，可以做块状、丝状、截面等多种样品，仪器可以大面积采集模式，通常情况下ebsd探头只能前进和后退，因此在使用的时候探头前进时容易与样品或者样品台相撞，这样会对设备造成损伤。

发明内容

本实用新型的目的在于提出一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件，包括：

底座，所述底座上方设置有样品台，所述样品台的上方设置有光束发射器，所述底座上还设置有滑道；

伸缩电镜ebsd探头座，安装在所述底座上，所述伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头；

支架，通过滑块滑动安装在所述滑道上，与所述伸缩电镜ebsd探头座连接，能够在所述伸缩电镜ebsd探头座伸缩时带动滑块沿所述滑道滑动；

调节块，滑动安装在所述滑道上，位于所述滑块靠近所述样品台的一侧；

弹簧开关，包括能够相互配合或脱离配合的卡扣和锁扣，所述卡扣安装在所述滑块上，所述锁扣固定在所述调节块上；

控制器，与所述弹簧开关和所述伸缩电镜ebsd探头座连接，能够在所述卡扣插入所述锁扣时，使所述伸缩电镜ebsd探头座停止伸缩。

优选的，所述支架的数量为2个，且2个支架分别设于伸缩电镜ebsd探头座的两边，所述支架的底部设置在所述滑块上。

优选的，所述滑块的底部设置有滑轮。

优选的，所述弹簧开关能够设置为制动开关。

优选的，所述调节块上设置有锁紧螺栓。

优选的，所述伸缩电镜ebsd探头座旋转安装在支架上。

优选的，所述伸缩电镜ebsd探头座的四周设置有保护壳。

优选的，所述样品台上设置有夹持样品的夹持工具，所述夹持工具通过螺栓固定。

根据本实用新型的实施例提供的防撞扫描电镜ebsd探头组件，在使用时，先将样品固定在样品台上，然后将调节块沿滑道滑动调整至样品下方对应的位置，即调节块的位置可根据样品伸出样品台的长度进行调节。此后，使光束发射器发射光线照射到样品上，照射到样品上的光线经样品发生折射后，可通过伸缩电镜ebsd探头座的伸缩，以将探头伸长至样品附近，以进行样品折射后的光线捕捉。而伸缩电镜ebsd探头座伸缩时，可通过支架带动滑块沿滑道滑动，而当探头足够接近样品时，滑块上的卡扣会接触锁扣并与之扣合，这样就能够改变弹簧开关的状态，而控制器在检查到弹簧开关的状态发生变化时，便可控制伸缩电镜ebsd探头座停止伸缩而不再继续前进，这样就可合理限定探头的位置，使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动，避免了探头接触到样品而导致探头损伤。

附图说明