[实用新型]一种防撞扫描电镜ebsd探头组件有效
申请号: | 202023002538.6 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN213957201U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 王珺 | 申请(专利权)人: | 辽宁鼎创材料科技有限公司 |
主分类号: | G01N23/203 | 分类号: | G01N23/203;G01N23/20008;G01N23/20025 |
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地址: | 110179 辽宁省沈阳市自由*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扫描电镜 ebsd 探头 组件 | ||
本实用新型公开了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件,包括底座,底座的上方设置有样品台,样品台上方设置有光束发射器,底座上设置有伸缩电镜ebsd探头座,伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头,伸缩电镜ebsd探头座的下方设置有支架,支架的下方设置有滑块,滑块滑动连接在底座的滑道上,滑块上设置有弹簧开关,滑道上设置有调节块,弹簧开关电性连接控制器,控制器电性连接伸缩电镜ebsd探头座。该种结构可合理限定探头的位置,使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动,避免了探头接触到样品而导致探头损伤。
技术领域
本实用新型涉及研磨设备领域,具体地,涉及一种防撞扫描电镜ebsd探头组件。
背景技术
EBSD技术是材料科学表征的一个重要手段,受到越来越多显微工作者的重视,同时 EBSD使用者的水平也在逐年提高。相比XRD来说,EBSD可以针对微观选取更加精确定位局部晶粒及晶界特性,样品形状及尺寸不受限制,可以做块状、丝状、截面等多种样品,仪器可以大面积采集模式,通常情况下ebsd探头只能前进和后退,因此在使用的时候探头前进时容易与样品或者样品台相撞,这样会对设备造成损伤。
发明内容
本实用新型的目的在于提出一种防撞扫描电镜ebsd探头组件,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供了一种防撞扫描电镜ebsd探头组件,包括:
底座,所述底座上方设置有样品台,所述样品台的上方设置有光束发射器,所述底座上还设置有滑道;
伸缩电镜ebsd探头座,安装在所述底座上,所述伸缩电镜ebsd探头座的末端设置有探头;
支架,通过滑块滑动安装在所述滑道上,与所述伸缩电镜ebsd探头座连接,能够在所述伸缩电镜ebsd探头座伸缩时带动滑块沿所述滑道滑动;
调节块,滑动安装在所述滑道上,位于所述滑块靠近所述样品台的一侧;
弹簧开关,包括能够相互配合或脱离配合的卡扣和锁扣,所述卡扣安装在所述滑块上,所述锁扣固定在所述调节块上;
控制器,与所述弹簧开关和所述伸缩电镜ebsd探头座连接,能够在所述卡扣插入所述锁扣时,使所述伸缩电镜ebsd探头座停止伸缩。
优选的,所述支架的数量为2个,且2个支架分别设于伸缩电镜ebsd探头座的两边,所述支架的底部设置在所述滑块上。
优选的,所述滑块的底部设置有滑轮。
优选的,所述弹簧开关能够设置为制动开关。
优选的,所述调节块上设置有锁紧螺栓。
优选的,所述伸缩电镜ebsd探头座旋转安装在支架上。
优选的,所述伸缩电镜ebsd探头座的四周设置有保护壳。
优选的,所述样品台上设置有夹持样品的夹持工具,所述夹持工具通过螺栓固定。
根据本实用新型的实施例提供的防撞扫描电镜ebsd探头组件,在使用时,先将样品固定在样品台上,然后将调节块沿滑道滑动调整至样品下方对应的位置,即调节块的位置可根据样品伸出样品台的长度进行调节。此后,使光束发射器发射光线照射到样品上,照射到样品上的光线经样品发生折射后,可通过伸缩电镜ebsd探头座的伸缩,以将探头伸长至样品附近,以进行样品折射后的光线捕捉。而伸缩电镜ebsd探头座伸缩时,可通过支架带动滑块沿滑道滑动,而当探头足够接近样品时,滑块上的卡扣会接触锁扣并与之扣合,这样就能够改变弹簧开关的状态,而控制器在检查到弹簧开关的状态发生变化时,便可控制伸缩电镜ebsd探头座停止伸缩而不再继续前进,这样就可合理限定探头的位置,使探头能够在接触到样品台或者样品之前停止运动,避免了探头接触到样品而导致探头损伤。
附图说明
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