[实用新型]一种探针弯折装置有效
| 申请号: | 202023000991.3 | 申请日: | 2020-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN214252392U | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
| 发明(设计)人: | 龚超 | 申请(专利权)人: | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号: | G01R3/00 | 分类号: | G01R3/00 |
| 代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 苗晓娟 |
| 地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本实用新型公开一种探针弯折装置,涉及半导体电子测试器件技术领域。本实用新型一种探针弯折装置,包括,底座,其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构,所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心,所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线;探针夹持部,其设在所述底座上,所述探针夹持部夹持待弯曲探针;弯折固定支撑体,其设置在所述底座上,并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。本实用新型可准确控制探针待弯折部分的长度及弯折的角度,提升晶圆电路测试的精准度,提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 探针 装置 | ||
【主权项】:
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