[实用新型]一种探针弯折装置

说明书

本实用新型公开一种探针弯折装置，涉及半导体电子测试器件技术领域。本实用新型一种探针弯折装置，包括，底座，其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线；探针夹持部，其设在所述底座上，所述探针夹持部夹持待弯曲探针；弯折固定支撑体，其设置在所述底座上，并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。本实用新型可准确控制探针待弯折部分的长度及弯折的角度，提升晶圆电路测试的精准度，提高工作效率。

技术领域

本实用新型属于半导体电子测试器件技术领域，特别是涉及一种探针弯折装置。

背景技术

在晶圆厂生产测试过程中，经常会用到各种探针，例如钨探针及猫须针等，对晶圆中的集成电路进行电性测试。为方便探针与电路测试仪器配合使用，需将生产出的直探针进行弯折，使得弯折的针头具有一定的长度和角度，以便于其装配到测试仪器的针座上对放置于仪器上的晶圆进行测试。针对探针的弯折加工，由于探针的体积较小，难以使用传统的加工设备进行加工，目前主要是靠人借助简单的工具手动完成的，但是此过程中工作人员往往凭借个人经验对探针进行弯折，从而经常导致弯折的角度和长度未能达到使用需求，影响晶圆电路测试的准确性。因此需要提出一种探针弯折装置，能精确确定探针弯折的角度和长度，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种探针弯折装置，用于解决目前人工对探针进行弯折加工时，无法精确控制针头的长度和角度，从而影响晶圆电路测试准确性的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种探针弯折装置，包括：

底座，其表面设有弯折角度测量结构和弯折长度测量结构，所述弯折长度测量结构的基准零点对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折长度测量结构的刻度线对应于所述弯折角度测量结构的零刻度线；

探针夹持部，其设在所述底座上，所述探针夹持部夹持待弯曲探针；

弯折固定支撑体，其设置在所述底座上，并对所述基准零点位置的所述探针进行限位。

在本实用新型的一个示例中，所述探针弯折装置还包括弯折驱动装置，所述弯折驱动装置设置在底座上，并且所述弯折驱动装置于底座上围绕所述基准零点位置移动。

在本实用新型的一个示例中，所述弯折驱动装置的一端的顶部为尖端台体。

在本实用新型的一个示例中，所述底座上设有多个圆轨道，所述多个圆轨道的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心，所述弯折驱动装置设置在所述圆轨道上。

在本实用新型的一个示例中，所述探针夹持部为套管，所述套管内设有夹持稳定机构。

在本实用新型的一个示例中，所述夹持稳定机构包括至少两组垫体支撑结构，每一所述垫体支撑结构包括两个对称设置在所述套管内壁上的垫体。

在本实用新型的一个示例中，所述探针弯折装置还包括探针推进装置。

在本实用新型的一个示例中，所述探针推进装置一端为推进盘体，所述推进盘体直径大于等于所述探针直径。

在本实用新型的一个示例中，所述底座的形状为圆形，所述底座的圆心对应于所述弯折角度测量结构的圆心。

在本实用新型的一个示例中，所述弯折固定支撑体为圆柱型阻挡装置，所述圆柱型阻挡装置对称地设在所述弯折长度测量结构的所述基准零点的两侧。