[实用新型]一种防止液体飞溅的半导体加工装置

摘要

一种防止液体飞溅的半导体加工装置，包括加工箱、移动块、定位块以及水箱，所述加工箱内置加工空腔，加工空腔前端设置密封门，所述加工空腔底端设置工作台，所述工作台顶端设置液压杆，所述液压杆顶端设置固定板，所述固定板顶端设置清洗槽，所述清洗槽槽底设置出水孔，所述加工箱顶端设置水箱，水箱内填充清洗液，所述加工箱顶端位于水箱一侧设置水泵，所述水泵输入端与水箱连通，通过水箱、移动块、定位块以及调节电机的设置，可以便于调整喷嘴的位置，从而便于将半导体表面清洗干净。通过对挡水板以及水槽的设置，可以有效的防止液体飞溅，同时对清洗液进行回收。