[实用新型]一种镀膜光控片夹治具有效

专利信息
申请号: 202022971184.X 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN213925003U 公开(公告)日: 2021-08-10
发明(设计)人: 王刚;陈林帆 申请(专利权)人: 浙江美迪凯光学半导体有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/54
代理公司: 杭州华知专利事务所(普通合伙) 33235 代理人: 张德宝
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域,尤其涉及一种镀膜光控片夹治具,其特征在于,包括夹治具本体,所述夹治具本体的中心位置开设有用于放置光控玻璃片的放置槽孔,所述放置槽孔的边缘呈阶梯状;所述光控玻璃片的形状和大小与所述放置槽孔相适配。本实用新型通过在夹治具本体的中心位置开设放置槽孔,使光学玻璃能够可拆卸放置在放置槽孔内,并与夹治具形成一个整体,治具可以在镀膜过程中反复使用,方便拆卸。而且由于放置槽孔的设置,使光学玻璃的面积大大减小,避免对玻璃片的浪费,节省资源。该发明的优点在于能够在不影响窄带镀膜监测结果的同时,最大效率的改善成本。
搜索关键词: 一种 镀膜 光控 片夹治具
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