[实用新型]一种镀膜光控片夹治具

说明书

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种镀膜光控片夹治具，其特征在于，包括夹治具本体，所述夹治具本体的中心位置开设有用于放置光控玻璃片的放置槽孔，所述放置槽孔的边缘呈阶梯状；所述光控玻璃片的形状和大小与所述放置槽孔相适配。本实用新型通过在夹治具本体的中心位置开设放置槽孔，使光学玻璃能够可拆卸放置在放置槽孔内，并与夹治具形成一个整体，治具可以在镀膜过程中反复使用，方便拆卸。而且由于放置槽孔的设置，使光学玻璃的面积大大减小，避免对玻璃片的浪费，节省资源。该发明的优点在于能够在不影响窄带镀膜监测结果的同时，最大效率的改善成本。

技术领域

本实用新型涉及溅射机光学成膜治具技术领域，尤其涉及一种镀膜光控片夹治具。

背景技术

目前在溅射机镀膜8寸或其它尺寸窄带产品片时一般控制方式为光控和速率相结合，且速率控制的前提是光控为基础的检测速率才能给后面的速率控制给予一定的基准，所以每次镀膜需要一片玻璃当做光控片进行陪镀。由于陪镀光控的夹治具与正常产品的夹治具一样，这就要求陪镀基板的尺寸必须为8寸或其它对应的相同尺寸。8寸或其它对应尺寸的光控玻璃加工及搬运非常不方便，并且在使用一次后不能重复利用，而且实际光控装置检测需要的有效范围极少，这样多余的部分会存在浪费且无法重复使用，导致材料成本，人工成本等投入加大。因此需要对光控基板的夹治具进行改进。

目前窄带干涉滤光片可替代如光栅那样昂贵的分光器件，广泛应用于光学实验和工业领域。所以窄带滤光片的需求增大，若不改善光控片的基板夹具会造成很大成本上的浪费。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型提供一种镀膜光控片夹治具。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种镀膜光控片夹治具，包括夹治具本体，所述夹治具本体的中心位置开设有用于放置光控玻璃片的放置槽孔，所述放置槽孔的边缘呈阶梯状；所述光控玻璃片的形状和大小与所述放置槽孔相适配。

优选地，所述夹治具本体材料为不锈铁。

优选地，所述放置槽孔为正方形孔,所述放置槽孔在厚度方向上的截面呈T型。

优选地，所述放置槽孔的大小为48X48mm，边缘宽度为0.5mm。

优选地，所述夹治具本体的厚度为0.8～1.2mm。

优选地，所述放置槽孔两侧的夹治具本体上开设有螺丝孔。

优选地，所述夹治具本体的外边缘开设有豁口。

优选地，所述夹治具本体包括中心位置开设有所述放置槽孔的拼板和环状或边框状的覆盖板，所述覆盖板的中心部位开设有安装孔，所述安装孔边缘设有内沿，所述内沿上表面低于所述覆盖板上表面设置，所述拼板边缘设有与所述内沿相适配的外沿，所述拼板可拆卸设置在所述覆盖板的安装孔上。

优选地，所述外沿下表面上设有一层用于与所述内沿上表面相吸附的磁铁吸附层。

优选地，所述拼板设有若干个，若干所述拼板的外轮廓大小均相同，且与所述安装孔相适配，若干所述拼板上的放置槽孔的大小均不同。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过在夹治具本体的中心位置开设放置槽孔，使光学玻璃能够可拆卸放置在放置槽孔内，并与夹治具形成一个整体，治具可以在镀膜过程中反复使用，方便拆卸。而且由于放置槽孔的设置，使光学玻璃的面积大大减小，避免对玻璃片的浪费，节省资源。该发明的优点在于能够在不影响窄带镀膜监测结果的同时，最大效率的改善成本。

附图说明

图1是夹治具与光控玻璃片结合的正面结构示意图。

图2是实施例1中夹治具的整体结构示意图。

图3是实施例2中拼板的结构示意图。