[实用新型]一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置有效
| 申请号： | 202022823220.8 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN214036655U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 岳小非;裴磊;鄢亮亮;赵伟明;戴雷;蔡丽菲 | 申请（专利权）人： | 四川阿格瑞新材料有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02;F16F15/08;F04B39/00;F04B37/08;F25D3/10 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 甘永恒 |
| 地址： | 620564 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置，属于冷泵领域。防震缓冲结构包括连接管体；连接管体包括依次连接的直管段和波纹管段；连接管体设有沿其圆周表面间隔设置的连接部，连接部与连接管体的外表面连接；连接部分别位于波纹管段的上侧和下侧；连接部设有通孔，通孔内设有缓冲件，缓冲件的外表面与通孔的壁面相贴合，缓冲件设有螺杆连接孔。冷泵装置包括真空腔室、冷泵、连接螺栓及如上所述的防震缓冲结构；真空腔室、防震缓冲结构与冷泵依次连通；直管段与真空腔室连接；连接螺栓穿过上下两个螺杆连接孔并与冷泵连接。本实用新型能有效缓冲冷泵在工作时所产生的震动，避免真空设备的对位精度或检测精度受到震动影响而下降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防震 缓冲 结构 具有 装置 | ||
【主权项】：
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