[实用新型]一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置

说明书

本实用新型公开一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置，属于冷泵领域。防震缓冲结构包括连接管体；连接管体包括依次连接的直管段和波纹管段；连接管体设有沿其圆周表面间隔设置的连接部，连接部与连接管体的外表面连接；连接部分别位于波纹管段的上侧和下侧；连接部设有通孔，通孔内设有缓冲件，缓冲件的外表面与通孔的壁面相贴合，缓冲件设有螺杆连接孔。冷泵装置包括真空腔室、冷泵、连接螺栓及如上所述的防震缓冲结构；真空腔室、防震缓冲结构与冷泵依次连通；直管段与真空腔室连接；连接螺栓穿过上下两个螺杆连接孔并与冷泵连接。本实用新型能有效缓冲冷泵在工作时所产生的震动，避免真空设备的对位精度或检测精度受到震动影响而下降。

技术领域

本实用新型涉及冷泵技术领域，特别涉及一种防震缓冲结构及具有其的冷泵装置。

背景技术

冷泵是各类真空设备常用的一种真空泵，冷泵(或称低温泵)的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果，冷泵的低温介质来自于压缩机的液氮，通过活塞的往复运动将液氮送到一级冷头，再转递到相连的冷伞，使气体在冷伞上冷凝。

目前，在市面上冷泵的安装方式都是直接和设备相连，如图1所示，冷泵300、真空阀200与真空腔室100依次连接且相连通，以便冷泵300对真空腔室100进行抽气，真空阀200采用刚性结构，并不具备缓冲作用，那么，冷泵300在工作时将活塞运动造成的震动通过真空阀200传递到设备上，对设备的精度造成影响，比如冷泵安装在蒸镀设备上，会让对位时间延长，造成对位失败，影响对位精度，或者造成速率检测系统检测精度下降。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种防震缓冲结构，以解决现有技术中所存在的一个或多个技术问题，至少提供一种有益的选择或创造条件。

另外，本实用新型还提供一种具有该防震缓冲结构的冷泵装置。

为解决上述技术问题所采用的技术方案：

本实用新型第一方面提供一种防震缓冲结构，其包括连接管体；所述连接管体包括依次连接的直管段和波纹管段；所述连接管体设有连接部，所述连接部沿着连接管体的圆周表面间隔设置，并且，所述连接部与所述连接管体的外表面连接；所述连接部分别位于所述波纹管段的上侧和下侧；所述连接部设有通孔，所述通孔内设有缓冲件，所述缓冲件的外表面与所述通孔的壁面相贴合，所述缓冲件设有螺杆连接孔。

采用该连接管体设计，可使冷泵与真空腔室能连通，方便冷泵对真空腔室进行抽气操作。另外，在连接管体上设置波纹管段，以缓冲冷泵工作时产生的震动，避免震动传递至真空腔室处而导致真空设备的对位精度或检测精度受影响；并且，在连接管体的连接部设有缓冲件，缓冲件设有螺杆连接孔，通过螺杆将防震缓冲结构与冷泵连接，可以有效防止冷泵引起的震动通过螺杆传递到真空腔室处。在波纹管段上侧和下侧分别设置连接部，可实现波纹管段的松紧程度调节。连接部沿着连接管体的圆周表面间隔设置，能够加强连接管体与冷泵之间的连接强度，提高密封性。

作为上述技术方案的进一步改进，所述直管段的端部往外水平延伸形成连接块，所述连接块设有螺杆安装孔。设置螺杆安装孔，方便采用螺杆将该防震缓冲结构与真空腔室连接，方便拆装。

作为上述技术方案的进一步改进，所述缓冲件为缓冲垫圈，容易获得，安装简便，成本低，且缓冲减震效果佳。

本实用新型第二方面提供一种冷泵装置，包括真空腔室、冷泵，其中，所述冷泵装置还包括连接螺栓以及如上所述的防震缓冲结构；所述真空腔室、防震缓冲结构与冷泵依次连通；所述直管段与所述真空腔室连接；所述连接螺栓穿过上下两个螺杆连接孔并与冷泵连接。

在真空腔室与冷泵之间设置防震缓冲结构，使用连接螺栓依次穿过上下两个螺杆连接孔与冷泵进行连接，不仅使冷泵可对真空腔室进行抽气操作，而且，能够有效避免冷泵工作时所产生的震动传递至真空腔室，从而保证真空设备的对位精度或检测精度不受影响。