[实用新型]一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源有效
| 申请号： | 202022820115.9 | 申请日： | 2020-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN213399200U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 陈建军;邹林;尹韶云;江海波;谭军;顾海霞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院;张家港奇点光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 400700 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，包括紫外LED灯源，所述紫外LED灯源的光路下游设置有准直镜组，所述准直镜组的光路下游设置有复眼透镜，所述复眼透镜的光路下游设置有由角度调节机构驱动的偏振镜片，所述偏振镜片的光路下游设置有整形镜组。该曝光机紫外LED光源设置了偏振镜片，从而实现偏振信息的光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 曝光 紫外 led 光源 | ||
【主权项】：
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