[实用新型]一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源

权利要求书

1.一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，包括紫外LED灯源，其特征在于：所述紫外LED灯源的光路下游设置有准直镜组，所述准直镜组的光路下游设置有复眼透镜，所述复眼透镜的光路下游设置有由角度调节机构驱动的偏振镜片，所述偏振镜片的光路下游设置有整形镜组。

2.如权利要求1所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述角度调节机构包括固定座，所述固定座上旋转安装有旋转座，所述旋转座的中心设置有方便偏振镜片固定的固定孔，所述旋转座上设置有角度刻度，所述固定座上设置有锁紧所述旋转座的锁紧机构。

3.如权利要求2所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述锁紧机构为锁紧螺栓，所述锁紧螺栓的端部顶紧所述旋转座的侧壁。

4.如权利要求3所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述紫外LED光源包括外壳，所述紫外LED灯源、准直镜组、复眼透镜、偏振镜片均设置于所述外壳内。

5.如权利要求4所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述外壳包括下底板、第一壳体、第二壳体和第三壳体，所述第一壳体固定在下底板的上方，所述角度调节机构和偏振镜片均设置于第一壳体内，所述第二壳体固定于第一壳体的上方，所述第二壳体内设置有分隔板，所述准直镜组和复眼透镜分别固定在分隔板的上下两侧，所述第三壳体固定于第二壳体的上方，所述紫外LED灯源设置于第三壳体内。

6.如权利要求5所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述下底板、第一壳体、第二壳体和第三壳体之间均通过紧固件可拆卸固定。

7.如权利要求6所述的一种可偏振曝光的曝光机紫外LED光源，其特征在于：所述整形镜组包括第一整形透镜和第二整形透镜，所述第一整形透镜固定在下底板的下板部，所述第二整形透镜设置于第一整形透镜的光路下游侧且位于掩膜板的上游。