[实用新型]一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 202022806319.7 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213364087U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王志 | 申请（专利权）人： | 路溱微电子技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，由若干电容单元阵列形成，所述电容单元包括由下至上依次设置的基底、在基底上重掺杂形成的下极板、氧化硅层、以及采用CMOS薄膜形成的上极板；所述氧化硅层作为牺牲层，形成上极板与下极板之间的电容间隙；所述CMOS薄膜包括下多晶硅层及上多晶硅层，所述下多晶硅层上设置有若干牺牲层释放孔，所述上多晶硅层使电容间隙形成真空密封；本实用新型采用若干电容单元阵列形成，使得每个电容单元的尺寸可以减少，CMOS薄膜的厚度以及电容间隙相对于传统的结构尺寸可以减小，从而使得本实用新型的电容式MEMS压力传感器灵敏度高、温度影响小、抗压性能好、以及噪音低等优点，非常适合于高性能的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 电子 终端产品 电容 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
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