[实用新型]一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 202022806319.7 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN213364087U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王志 | 申请（专利权）人： | 路溱微电子技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 苏州尚为知识产权代理事务所(普通合伙) 32483 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215151 江苏省苏州市高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 电子 终端产品 电容 mems 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，其特征在于：由若干电容单元阵列形成，所述电容单元包括由下至上依次设置的基底、在基底上重掺杂形成的下极板、氧化硅层、以及采用CMOS薄膜形成的上极板；所述氧化硅层作为牺牲层，形成上极板与下极板之间的电容间隙；所述CMOS薄膜包括下多晶硅层、以及在下多晶硅层上淀积形成的上多晶硅层，所述下多晶硅层上设置有若干牺牲层释放孔，所述上多晶硅层使电容间隙形成真空密封；所述下极板及上极板上还通过引线连接有焊盘。
2.根据权利要求1所述的一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，其特征在于：所述上极板端部上端及氧化硅层上端还淀积形成有保护层，所述保护层采用多晶硅、氧化硅、氮化硅或其组合制成。
3.根据权利要求1所述的一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，其特征在于：所述下极板由P型重掺杂区域构成，其掺杂浓度为2*1018/cm3～1019/cm3。
4.根据权利要求1所述的一种应用于电子终端产品的电容式MEMS压力传感器，其特征在于：所述上多晶硅层与下多晶硅层的厚度相同。
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