[实用新型]一种MEMS结构有效
| 申请号： | 202022763908.1 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN214205840U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种MEMS结构，包括：衬底，具有空腔；振动支撑层，形成在所述衬底上方，并且具有内部区域和外围区域；压电单元层，形成在所述振动支撑层的所述内部区域上方，所述压电单元层悬置于所述空腔上方，并且所述压电单元层位于所述空腔的投影区域内；其中，所述振动支撑层的所述外围区域具有波浪形褶皱和贯穿通孔。在本申请的MEMS结构中，压电单元层悬置在空腔上方，可以释放压电单元层的边缘应力，避免正负电荷中和，从而提高灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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