[实用新型]改进型圆盘清洗装置有效
| 申请号： | 202022704334.0 | 申请日： | 2020-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN214184261U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 郑东;肖迪 | 申请（专利权）人： | 青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 江鹏飞 |
| 地址： | 266000 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改进型圆盘清洗装置，属于晶片清洗装置技术领域。本实用新型包括圆盘，以及位于圆盘下方的转轴电机，圆盘沿转轴电机360°旋转，圆盘下方设置有承接清洗液的凹槽，凹槽底部安装有与回收桶相连接的回收管，圆盘一侧安装有清洗装置，清洗装置包括控制机构、升降机构和伸缩机构；伸缩杆底部安装有朝向圆盘上表面的清洗头，清洗头上方安装有若干喷淋孔，喷淋孔通过水泵与回收桶相连；圆盘在转轴电机驱动下圆周旋转时，与圆盘紧密贴合的清洗头在伸缩机构带动下作往复运动，清洗头在圆盘上运动轨迹呈螺旋线形；将清洗装置放置在圆盘一侧，方便更换清洗头；同时将清洗头和喷淋孔合二为一，根据清洗轨迹有针对性地喷淋，节省清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 改进型 圆盘 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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