[实用新型]改进型圆盘清洗装置

说明书

本实用新型涉及一种改进型圆盘清洗装置，属于晶片清洗装置技术领域。本实用新型包括圆盘，以及位于圆盘下方的转轴电机，圆盘沿转轴电机360°旋转，圆盘下方设置有承接清洗液的凹槽，凹槽底部安装有与回收桶相连接的回收管，圆盘一侧安装有清洗装置，清洗装置包括控制机构、升降机构和伸缩机构；伸缩杆底部安装有朝向圆盘上表面的清洗头，清洗头上方安装有若干喷淋孔，喷淋孔通过水泵与回收桶相连；圆盘在转轴电机驱动下圆周旋转时，与圆盘紧密贴合的清洗头在伸缩机构带动下作往复运动，清洗头在圆盘上运动轨迹呈螺旋线形；将清洗装置放置在圆盘一侧，方便更换清洗头；同时将清洗头和喷淋孔合二为一，根据清洗轨迹有针对性地喷淋，节省清洗液。

技术领域

本实用新型涉及一种改进型圆盘清洗装置，属于晶片清洗装置技术领域。

背景技术

现有的圆盘在使用完毕，需要进行清洗时，往往将其放置在转轴上旋转，同时将位于其上的清洗装置启动，实现清洗效果。但是现有的清洗装置存在以下问题：(1)不方便更换：清洗头设置于圆盘高处，不便于位于圆盘两侧人员的更换；(2)浪费清洗液：现有的喷淋头全覆盖式喷淋，而无法针对清洗轨迹有针对性喷淋。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本实用新型提出了一种改进型圆盘清洗装置。

本实用新型所述的改进型圆盘清洗装置，包括圆盘，以及位于圆盘下方的转轴电机，圆盘沿转轴电机360°旋转，圆盘下方设置有承接清洗液的凹槽，凹槽底部安装有与回收桶相连接的回收管，圆盘一侧安装有清洗装置，清洗装置包括控制机构、升降机构和伸缩机构，控制机构分别与转轴电机、升降机构和伸缩机构相连；

升降机构包括升降杆和电动缸Ⅰ，升降杆的端部与电动缸Ⅰ的端部相连，升降杆在控制机构的控制下相对于圆盘作上下往复运动；

伸缩机构包括伸缩杆和电动缸Ⅱ，伸缩杆的端部与电动缸Ⅱ的端部相连，伸缩杆在控制机构的控制下相对于圆盘作左右往复运动；

伸缩杆底部安装有朝向圆盘上表面的清洗头，清洗头上方安装有若干喷淋孔，喷淋孔通过水泵与回收桶相连；

圆盘在转轴电机驱动下圆周旋转时，与圆盘紧密贴合的清洗头在伸缩机构带动下作往复运动，清洗头在圆盘上运动轨迹呈螺旋线形。

优选地，内层的螺旋线至少部分轨迹与外层的螺旋线相互重叠。

优选地，清洗头与圆盘紧密贴合并与喷淋孔喷出的清洗液相接触。

优选地，升降机构带动伸缩杆向上移动，清洗头经由伸缩杆下方拆除更换。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的改进型圆盘清洗装置，将清洗装置放置在圆盘一侧，方便更换清洗头；同时将清洗头和喷淋孔合二为一，根据清洗轨迹有针对性地喷淋，节省清洗液。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的收缩过程图之一。

图3是本实用新型的收缩过程图之二。

图4是本实用新型的升降过程图。

图中：1、圆盘；2、转轴；3、凹槽；4、回收桶；5、升降机构；6、伸缩机构；7、清洗头；8、喷淋孔；9、控制机构。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1：