[实用新型]一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备有效

专利信息
申请号: 202022702056.5 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN213826143U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 赵萍 申请(专利权)人: 安徽联芯半导体有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;H01L21/67;B08B15/04;B08B3/14;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 233200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,包括装置框架,所述装置框架的上方设有酸洗箱,所述酸洗箱的底部设有出液管道,所述出液管道的下方设有废料收集箱,所述出液管道插入在所述废料收集箱的内部通过螺纹连接,所述酸洗箱的上方设有防护罩,所述防护罩嵌套在所述酸洗箱的外部,所述防护罩的外部设有气体净化装置,所述气体净化装置的外侧面设有进气口,所述进气口的内部设有连接管道。该一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备通过增设的气体净化装置能够对酸洗过程中产生废气进行处理后排出,通过增设的废液收集箱能够对产生的废液进行处理后排出,该装置在对二极管进行酸洗加工过程中具有环保功能,值得推广。
搜索关键词: 一种 双基区 结构 快速 恢复 二极管 酸洗 设备
【主权项】:
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