[实用新型]一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备有效

专利信息
申请号: 202022702056.5 申请日: 2020-11-20
公开(公告)号: CN213826143U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 赵萍 申请(专利权)人: 安徽联芯半导体有限公司
主分类号: B08B3/08 分类号: B08B3/08;H01L21/67;B08B15/04;B08B3/14;B08B13/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 233200 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 双基区 结构 快速 恢复 二极管 酸洗 设备
【权利要求书】:

1.一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,其特征在于:包括装置框架(1),所述装置框架(1)的上方设有酸洗箱(2),所述酸洗箱(2)的底部和所述装置框架(1)通过螺栓和螺母进行固定,所述酸洗箱(2)的底部设有出液管道(3),所述出液管道(3)的下方设有废料收集箱(4),所述出液管道(3)插入在所述废料收集箱(4)的内部通过螺纹连接,所述酸洗箱(2)的上方设有防护罩(5),所述防护罩(5)嵌套在所述酸洗箱(2)的外部,所述防护罩(5)的外部设有气体净化装置(6),所述气体净化装置(6)的外侧面设有进气口(7),所述进气口(7)的内部设有连接管道(8),所述连接管道(8)的一端插入在所述进气口(7)的内部通过螺纹连接,所述连接管道(8)的另一端插入在所述防护罩(5)的内部通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,其特征在于:所述防护罩(5)的底部设有气缸(9),所述气缸(9)嵌入在所述装置框架(1)的内部通过螺栓和螺母进行固定。

3.根据权利要求1所述的一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,其特征在于:所述出液管道(3)和所述酸洗箱(2)的连接处设有阀门(10)。

4.根据权利要求1所述的一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,其特征在于:所述防护罩(5)的内表面通过一体成型设有凸起层(11)。

5.根据权利要求1所述的一种双基区结构快速软恢复二极管酸洗设备,其特征在于:所述废料收集箱(4)的外部设有液体净化装置(12),所述液体净化装置(12)和所述废料收集箱(4)通过管道结构连接,所述废料收集箱(4)的内部设有过滤结构(13)。

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